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磨料水射流车削硬脆材料关键技术研究
【作者】 苗新刚 [1,2] ; 武美萍 [1,2] ; 缪小进 [1,2]
【关键词】 磨料水射流 单晶硅 质量预测模型 车削
【摘要】单晶硅以及工程陶瓷等材料在制造、航空航天及医疗等领域具有十分广泛的应用,由于其硬度大、脆性高、断裂韧性低等固有特性,传统加工的工艺性很差,容易产生裂纹和应力集中,影响工件材料的性能及使用寿命。在进行正交实验的基础上,结合回归分析方法,分析了各主要工艺参数对单晶硅材料加工结果的影响,建立了以切缝宽度以及表面粗糙度为核心的车削质量预测模型,并通过验证试验对该模型的可靠性进行了验证,验证结果表明,该模型具有很高的可靠性。
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