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类金刚石薄膜

【关键词】 类金刚石薄膜 CARBON 非晶

【摘要】＂DLC＂是英文＂DIAMOND-LIKE CARBON＂一次的缩写。DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似,同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜（DLC）是一种非晶态薄膜,由于具有高硬度和高弹性模量,低摩擦因数,耐磨损以及良好的真空摩擦学特性,

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